특이사항

  • 6~12인치 웨이퍼 대응 가능한 박스형 스캔 타입 UV 경화기

  • 웨이퍼를 테이블에 올린 후 자동 스캔으로 정밀 조사 수행

  • 하부에 램프 셔터가 자동 개폐되어 조사 안정성과 반복성 확보

  • 테이블은 설정 속도에 따라 왕복 스캔하며 균일한 경화 품질 유지

  • 소형 박스형 구조로 공간 활용이 용이하고 설치가 간편함

  • 터치스크린 기반 제어 방식으로 직관적이고 편리한 조작

  • 반도체, 디스플레이 등 고정밀 공정용 웨이퍼 UV 경화에 최적

  • 작업자 안전을 위한 차폐 구조 및 전자식안정기 적용으로 정밀출력 가능

제품사이즈

Machine size W795mm x D1000mm x H1270mm
Workable Product Specifications 6, 8, 12 INCH
UV Lamp Qty 4kw 1 Lamp(Mercury, Metal Halide)