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특이사항

  • 웨이퍼 전용 UV LED 경화 장비, 하부에 LED를 배치하여 상향 조사 방식 적용

  • 제품 경화 중 하부 낙하 방지 구조로 안정적인 공정 구현

  • LED 파장 385nm, 고출력 공냉식 구조로 장시간 안정 동작 가능

  • 컨베이어 내부 포토센서 내장으로 제품 감지 시 자동 ON/OFF 제어

  • 조사 거리 조절 및 출력 가변(0~100%) 가능, 볼륨 방식 조절로 간편한 설정

  • 6인치, 8인치, 12인치 웨이퍼 및 링프레임 기판에 모두 대응 가능

  • 이물질 개입 최소화를 위한 원형 벨트 적용, 클린룸 환경에서도 사용 적합

  • 콤팩트한 크기와 이동이 간편한 캐스터 구조로 설치 환경 제약이 적음

제품사이즈

Length of Conveyor 1,500 ~ 2,000 mm
Width of Conveyor 500 ~ 800 mm
UV Lamp Qty 2 ~ 3 Lamp(Mercury, Metal Halide)