특이사항

  • 서랍 방식 구조로 웨이퍼를 넣고 설정 시간만큼 UV 조사 후 자동 배출하는 장비

  • 6인치 및 8인치 웨이퍼 작업에 적합한 실험 및 소형 공정용 장비

  • UV 광원은 저온 특성의 저압 수은 램프 사용

  • 조사 시간은 설정 가능하며 정밀 타이머 제어로 안정적인 공정 지원

  • 서랍 개폐에 따라 램프 ON/OFF 제어로 사용 편의성 및 안전성 향상

  • 소형 박스형 구조로 연구실, 파일럿 라인 등 공간 제약에 적합

  • 심플한 전면 조작 패널 구성으로 사용자 친화적 인터페이스 제공

제품사이즈

Machine size W515mm x D715mm x H320mm
Workable Product Specifications 6 ~ 8 INCH
UV Lamp Qty 24W 5 Lamp(Mercury, Metal Halide)