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특이사항

  • 포토공정 후 노광된 기판의 안정화를 위한 Post Exposure Baking 전용 장비

  • 상부 및 하부에 배치된 IR 히터를 통해 90~110°C의 균일한 온도 분포 유지

  • 최대 8개의 조건을 저장 가능한 다중 레시피 기반 온도 및 시간 제어 시스템

  • 기판 손상을 최소화하는 정밀 온도 제어 및 반복 재현성 우수

  • 세라믹 재질의 롤러를 적용하여 고온에서도 안정적인 이송 및 오염 방지

  • 인라인 시스템으로 다른 장비와 연동하여 자동화 공정 구현 가능

  • 롤러 컨베이어 방식으로 연속 이송 작업이 가능하여 생산성 향상

  • 스테인리스 하우징 및 컴팩트 설계로 클린룸 환경에 적합

  • 비상 정지 버튼 및 과열 보호 기능 탑재로 안전성 강화

제품사이즈

Model SM-HT700-200
Length of Conveyor 600 ~ 700 mm
Max. Temperature 160 ℃
Temperature Control P.I.D Control System
Power Supply 220V × 3Ph × 18 Kw
Drive Motor 40W
External Dimensions 650(W) × 550(D) × 90(H) mm
Internal Dimensions 1080(W) × 700(D) × 1345(H) mm