특이사항

  • 웨이퍼를 고정하고 가열하기 위한 마운터 전용 척(Chuck) 부품

  • 진공 흡착 방식을 통해 웨이퍼를 안정적으로 고정, 가열 공정에 적합

  • 구성 형태에 따라 아래와 같은 종류로 구분됨

  • 알루미늄 진공홈 척: 표면에 가공된 진공 홈을 통해 중심부 흡착

  • 포러스 척 (Porous Chuck) : 전면에 미세 기공이 형성되어 전체 표면 흡착 가능

  • 테두리 흡착형 척 : 가장자리에서만 진공으로 터치하여 고정, 민감 소재에 적합

  • 사이즈는 6인치, 8인치, 12인치 대응 가능

  • 형상은 원형, 사각형 등 다양한 형태로 맞춤화 가능

  • 일부 제품은 히터 내장형으로 웨이퍼 열처리 및 마운팅 공정 동시 수행 가능

  • 다양한 장비 모델에 맞춰 설계되어 연구용·양산용 모두 적용 가능

제품사이즈

6-inch size 200 mm
8-inch size 250 mm
12-inch size 350 mm