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특이사항

  • 웨이퍼가 적재된 카세트를 장비에 투입하면 자동으로 1장씩 이송되어 UV LED 경화 후 다시 카세트에 적재되는 풀자동 시스템

  • 고출력 385nm 파장의 UV LED를 사용하여 정밀하고 빠른 경화 공정 가능

  • 단축 로봇을 이용한 자동 이송 및 스캔 방식으로 스피드 자유 설정 가능

  • UV 조사 거리 조절 및 출력(10~100%) 가변 기능으로 다양한 공정 조건에 최적화

  • 링프레임 필름 상에 작업 완료 마킹 기능 내장 → 중복 작업 및 누락 방지

  • 작업 상태를 경광등, 부저, 터치패널 알림으로 실시간 표시

  • 사용자 인터페이스는 직관적인 터치스크린 방식으로 조작이 간편

  • 8~12인치 웨이퍼 대응 구조 및 클린룸 환경에 적합한 외장 설계

제품사이즈

Model SM-UV LED-AW350
Length of Conveyor 600 ~ 700 mm
Max. Temperature 160 ℃
Temperature Control P.I.D Control System
Power Supply 220V × 3Ph × 18 Kw
Drive Motor 40W
External Dimensions 650(W) × 550(D) × 90(H) mm
Internal Dimensions 1080(W) × 700(D) × 1345(H) mm